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可移动的源法兰和上下分体式冷屏、
可配备12个源口、
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?可移动的源法兰和上下分体式冷屏
?可提供两套冷屏
?冷屏可在2个工作日内更换
?可用于外延生长GaAs, GaSb, InP, GaN材料
?适用于用于4×4”, 7×3”, 1 x 200 mm, 1×6” and 14×2”衬底尺寸
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