搜索
在線客服
客服熱線
010-84195588
客服組:
在線客服
服務時間:
8:00 - 24:00
>
>
P1000生產型分子束外延系統

相關視頻

P1000生產型分子束外延系統

沒有此類產品
功能概述
技術指標
安裝條件

關鍵指標:

◆可移動的源法蘭和上下分體式冷屏

◆可提供兩套冷屏

◆冷屏可在2個工作日內更換

◆可用于外延生長GaAs, GaSb, InP, GaN材料

◆適用于用于4×4”, 7×3”, 1 x 200 mm, 1×6” and 14×2”襯底尺寸

 

介紹:

P1000 是全自動生產型的MBE系統。晶片通過中心分配室(CDC)全自動的傳遞,一次最多可處理40片(4英寸)晶片。CDC可以同時連接兩個生長室,一個進樣室,一個超高真空存儲室,和一個高溫除氣和氫處理室。P1000的生長室的設計適合長時間的生長,方便設備的維護和保養。生長室配有可移動的源法蘭。該設計把生長室分成上下兩個部分,可徹底的清理冷屏上的沉積物。生長室的冷屏具有非常大的表面積和容積,確保在生長過程中提高五族元素抽取的效率。

未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加
暫未實現,敬請期待
暫未實現,敬請期待
雙擊上傳視頻
聯系我們
電話:
傳真:
010-84195225
E-mail:
地址:
北京市東城區安定門東大街28號雍和大廈C座508-510室
九游会在线官网