P1000生產型分子束外延系統

關鍵指標：

◆可移動的源法蘭和上下分體式冷屏

◆可提供兩套冷屏

◆冷屏可在2個工作日內更換

◆可用于外延生長GaAs, GaSb, InP, GaN材料

◆適用于用于4×4”, 7×3”, 1 x 200 mm, 1×6” and 14×2”襯底尺寸

介紹：

P1000 是全自動生產型的MBE系統。晶片通過中心分配室(CDC)全自動的傳遞，一次最多可處理40片(4英寸)晶片。CDC可以同時連接兩個生長室，一個進樣室，一個超高真空存儲室，和一個高溫除氣和氫處理室。P1000的生長室的設計適合長時間的生長，方便設備的維護和保養。生長室配有可移動的源法蘭。該設計把生長室分成上下兩個部分，可徹底的清理冷屏上的沉積物。生長室的冷屏具有非常大的表面積和容積，確保在生長過程中提高五族元素抽取的效率。